什么是SEMI F47电压暂降？

半导体行业为了降低机电危险的风险，采用非常多类别的防制与管理措施，其中最典型的措施是FAB厂在采购装备时，将SEMI S2安规认证，SEMI F47电压暂降认证列为必备的规格要求；在这里主要给大家解析什么是SEMI F47电压暂降，希望装备厂商在实施前对此有所了解。

SEMI F47 半导体设备电压暂降抗扰度测试规格

Specification for semiconductor processing equipment voltage sag immunity

具体测试规格：

电源输入每相之间实施50%的额定电压,如50Hz,周期时间为20ms，10 cycles,1次测试时间为200ms，观察设备是否有跳断、中断等异常情况；

电源输入每相之间实施70%的额定电压,如50Hz,周期时间为20ms，25 cycles,1次测试时间为500ms，观察设备是否有跳断、中断等异常情况；

电源输入每相之间实施80%的额定电压,如50Hz,周期时间为20ms，50 cycles,1次测试时间为1000ms，观察设备是否有跳断、中断等异常情况；

简单说就是在电源输入在50%，70%，80%波动时，看装备是否具备耐受性；

SEMI F47 IPC电压暂降测试设备是特制的，是由美国PSL电力标准实验室提供,测试人员需要具备资格证书；

IPC电压暂降发生器基于相关国际标准开发，能够在交流回路上产生精确、受控的电压波动，主要用于根据相关标准测试各种负载对电压波动的免疫能力，并为改善其对电压波动免疫能力提供技术数据支持。 各种测试规格如SEMI F47已经在测试设备内部设定完整；

1 主要功能及特点

1.1 IPC工业用电压暂降发生器（压降发生器）是一种移动式电气装置；

1.2 能够对单相、三相三角形和三相星形系统产生电压暂降和暂升，无需任何外部变压器。

1.3 压降发生器能够在100伏到480伏之间的任意标称电压下正常工作。

1.4 压降发生器可以提供每相有效值200安培的连续电流，并且能够对每相提供600安培的峰值电流。峰值冲击电流驱动能力1000A瞬时。

1.5 压降发生器产生的相-相电压暂降是真实的相-相，而不是用两个相-中电压暂降模拟的。

1.6测试条件设备自动设置

2 技术参数和性能要求

2.1 电压暂降和暂升特性： 　

压降发生器能够以2.5%的间隔产生0-100%工作电压的电压暂降，也能够以2.5%的间隔产生100-125%的电压暂升，且能够产生高阻值的电压中断。 　

发生暂降期间，非暂降相的电压变化在正负10%以内。 　

电压暂降和暂升的持续时间是可编程的：最短持续时间是1个周波（对应于50Hz是20ms），最长不短于30秒，在两者之间可灵活调整，调整步长为1个周波。 　

压降发生器能够在可编程的相角开始产生电压暂降（0-360度，以5度为步长）。

当电压暂降或电压暂升开始和结束时，在电压和电流方面不能有断点。 　

根据IEC 61000-4-34的测量方法，电压暂降和暂升适用于一相-中，或者一相-另外一相。

2.2 数据记录 采样分辨率：12位以上。 　

压降发生器应该记录如下波形和有效值读数：所有相-相和相-中输入电压、相-相和相-中输出电压、相输入电流和相输出电流；记录包括每次电压暂降和暂升的之前、之中和之后的数据，测试曲线图设备自动生成；

Test Plot For Voltage and current waveforms:

Voltage waveform 10 cycle sag to 50％  

Voltage waveform 25 cycle sag to 70％

Voltage waveform 50 cycle sag to 80％ 

ECMG拥有国内最具经验的SEMI团队，拥有符合SEMI F47要求的测试设备及经验丰富且具备测试资格的工程人员，根据SEMI F47标准协助机械制造商完成电压暂降测试测试。所有测试及技术支持都在本地完成，可以第一时间响应客户的要求。