SEMI S23 - “Guide for conservation of energy, utilities, and materials used by semiconductor manufacturing equipment,” SEMI S23 是针对半导体制程设备能源,应用和材质的使用功效

要求机械制造商在半导体制造程序中不断的寻求能源上的高效,包括测量机械所使用的能源， 设计改进计划和重心测量机械所使用的能源来确认已经达到能源减低的效果。

S23 能源测量

能源的测量必须使用完善技术。此外，成功的测量也必须由一个具有高技巧和经验的人员来进行。 包括如下测量：

1， 电力测量

2， 液体能量测量

    3，气体能量测试

SEMI S23 指定以下能源测量的要求： 

1）测量必须使用适当的测量设备 

2）测量必须由一个具有高技巧和经验的人员来进行 

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 ECMG拥有国内最具经验的SEMI团队，完善的先进的符合SEMI要求的设备以及丰富经验的工程人员，协助机械制造商完成SEMI S23的计划。 所有测试及技术支持都在本地完成，可以第一时间响应客户的要求。