SEMI S6 EHS GUIDELINE FOR EXHAUST VENTILATION OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT APPENDIX 2 TEST METHOD FOR DETERMINING FUGITIVE EMISSIONS BY USING TRACER GAS.气体示踪测试

针对半导体、泛半导体制程工艺以及辅助设备，如果包含HPM，根据SEMI S2 23章节要求，需要符合SEMI S6附录2气体示踪测试

测试必须使用完善技术以及设备。此外，成功的测量也必须由一个具有高技巧和经验的人员来进行。

ECMG拥有国内最具经验的SEMI团队，拥有符合semi s6要求的测试设备，且经验丰富的工程人员，根据SEMI S6标准协助机械制造商发展完成气体追踪测试。所有测试及技术支持都在本地完成，可以第一时间响应客户的要求。